爐腔是微波爐的主要部件，也是微波加熱物體的場所。通常，微波爐的爐腔是一個多模微波諧振腔。當磁控管產生微波能量，會經波導饋給爐腔，在爐腔內形成微波場。然后電磁波在腔內壁間多次反射，疊加形成駐波場。

而家用的微波爐爐腔一般是方形結構。腔體是實現微波場和被加熱食物相互作用的空間。腔內能量應盡量分布均勻，這樣才能達到均勻加熱食物的目的。爐腔也有分大爐腔和小爐腔。相比小爐腔，大爐腔諧振模式多，均勻性好，適合處理體積較大的物品，空載時，輸入端的電壓駐波也比較小。但制造大爐腔所需的材料多，造價高，體積笨重，所以，爐腔也不需要太大。

如果爐腔內可能存在的諧振模式數多，能量分布均勻，物體被加熱的均勻也就越好。如果爐腔的模式諧振模式少，分布均勻性很差，則有可能出現磁控管的振蕩頻率正好落在模式稀疏區，工作不穩定，加熱質量差的情況。但如果爐腔的模式諧振頻率分布較均勻，就不會出現這種情況，證明產品質量一般比較好。